Caractérisation de couches minces ferroélectriques en topologie coplanaire
Résumé
Résumé— Cette étude présente une nouvelle topologie de mesure pour la caractérisation des couches minces de forte permittivité. La structure de mesure est constituée d'une capacité coplanaire insérée entre deux lignes de transmis-sion. Cette méthode est utilisée ici pour la caractérisation de la permittivité et de l'accordabilité d'une couche mince ferroélectrique.
Domaines
Electronique
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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