" Etude jusqu'à 60 GHz d'une capacité ferroélectrique de PbZrO0.52TiO0.48O3 "

C. Bermond (1) , J. Abergel (2) , G. Le Rhun (2) , E. Defay (2) , G. Houzet , T. Lacrevaz (1) , B. Flechet (1)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

C. Bermond, J. Abergel, G. Le Rhun, E. Defay, G. Houzet, et al.. " Etude jusqu'à 60 GHz d'une capacité ferroélectrique de PbZrO0.52TiO0.48O3 ". 12e Journées Caractérisation Microondes et Matériaux, Mar 2012, Chambéry, France. ⟨hal-01068640⟩