Laser micromachining of thin substrates for microelectronics applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01057549 , version 1 (23-08-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01057549 , version 1

Citer

Sostaine Kaya-Boussougou, Guillaume Savriama, Agnes Petit, Eric Millon, Jean-Christophe Houdbert, et al.. Laser micromachining of thin substrates for microelectronics applications. E-MRS 2014 Spring Meeting, May 2014, Lille, France. ⟨hal-01057549⟩
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