Caractérisation électrique d'une structure passive en hyperfréquence par mesures et modélisation de lignes CPW
Résumé
L'étude présentée a pour objectif la détermination des propriétés électriques d'un échantillon par la caractérisation de lignes de transmissions coplanaires (CPW) de dimensions et de nature différentes. La structure étudiée est une structure Métal Isolant Semiconducteur (MIS) pour laquelle la partie isolante est constituée de 2 diélectriques déposés sur un substrat silicium. Des mesures en paramètres S jusqu'à 41GHz par analyseur de réseau vectoriel (VNA) ont permis la détermination des constantes de propagations de chaque ligne CPW par la méthode multilignes. Un phénomène d'ondes lentes (slow wave mode) significatif a été constaté et expliqué. Une modélisation analytique a été conduite, rendant compte du phénomène et corroborant les résultats de mesure. Comparativement, l'utilisation du simulateur électromagnétique (EM) Momentum d'Agilent a permis d'extraire un modèle équivalent de substrat. Finalement, une bonne concordance entre résultats de mesure et modélisation a été constatée.