Contrôle de la porosité dans des films d'or pour des micro-supercondensateurs

Aymeric Pastre (1) , K. Raulin , Alexandre Boé (1) , Nathalie Rolland (1) , Odile Cristini (2) , R. Bernard

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 PhLAM - Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules - UMR 8523

Cet article présente un matériau d'électrode original pour les micro-supercondensateurs basé sur un film mince d'or poreux. Le procédé de fabrication implique le dépôt d'or par un procédé de chimie en solution. L'utilisation de polymères comme templates nous permet de générer des pores de taille contrôlée dans le film métallique. Les premières caractérisations électriques montrent un comportement capacitif de notre dispositif.

Aymeric Pastre, K. Raulin, Alexandre Boé, Nathalie Rolland, Odile Cristini, et al.. Contrôle de la porosité dans des films d'or pour des micro-supercondensateurs. 17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. 3 p. ⟨hal-01018420⟩