3D micro-supercapacitor based on MnO2 electrodes on silicon substrate

Etienne Eustache (1, 2, 3) , Camille Douard , Pascal Tilmant (2) , Dmitri Yarekha (2) , Laurence Morgenroth (2) , Christophe Lethien (2, 3) , Thierry Brousse (1, 3)

1 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
3 RS2E - Réseau sur le stockage électrochimique de l'énergie

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Etienne Eustache, Camille Douard, Pascal Tilmant, Dmitri Yarekha, Laurence Morgenroth, et al.. 3D micro-supercapacitor based on MnO2 electrodes on silicon substrate. 226th Meeting of the Electrochemical Society and XXIX Congreso de la Sociedad Mexicana de Electroquímica, 2014 ECS and SMEQ Joint International Meeting, 2014, Cancun, Mexico. ⟨hal-01015285⟩