Article Dans Une Revue
Journal of Micromechanics and Microengineering
Année : 2014
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01015146
Soumis le : mercredi 25 juin 2014-21:48:13
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:59
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01015146 , version 1
- DOI : 10.1088/0960-1317/24/7/075021
Citer
Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Bertrand Boutaud, Remi Dussart. Alternated process for the deep etching of titanium. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2014, 24, pp.075021. ⟨10.1088/0960-1317/24/7/075021⟩. ⟨hal-01015146⟩
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