Élaboration de microélectrodes par techniques originales basées sur la " lithographie douce "

Résumé : La lithographie douce et plus particulièrement la technique de microtamponnage sont utilisées ici dans le but de fabriquer des microélectrodes pouvant servir à l'élaboration de microcapteurs. Deux voies originales sont décrites, l'une basée sur le pelage localisé d'une couche métallique à l'aide d'un adhésif et l'autre sur la croissance localisée d'une couche métallique electroless. Il est montré que ces deux procédés permettent la reproduction de motifs à l'échelle micrométrique.
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Instrumentation, Mesure, Métrologie, Lavoisier, 2011, 11 (3-4), pp.9-26. 〈10.3166/i2m.11.3-4.9-26〉
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Contributeur : Agnès Bussy <>
Soumis le : dimanche 4 mai 2014 - 21:51:32
Dernière modification le : lundi 10 décembre 2018 - 14:54:03

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Citation

Stéphane Cotte, Abdellatif Baraket, François Bessueille, S. Gout, Nourdin Yaakoubi, et al.. Élaboration de microélectrodes par techniques originales basées sur la " lithographie douce ". Instrumentation, Mesure, Métrologie, Lavoisier, 2011, 11 (3-4), pp.9-26. 〈10.3166/i2m.11.3-4.9-26〉. 〈hal-00986775〉

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