Élaboration de microélectrodes par techniques originales basées sur la " lithographie douce "

Résumé : La lithographie douce et plus particulièrement la technique de microtamponnage sont utilisées ici dans le but de fabriquer des microélectrodes pouvant servir à l'élaboration de microcapteurs. Deux voies originales sont décrites, l'une basée sur le pelage localisé d'une couche métallique à l'aide d'un adhésif et l'autre sur la croissance localisée d'une couche métallique electroless. Il est montré que ces deux procédés permettent la reproduction de motifs à l'échelle micrométrique.
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Contributor : Agnès Bussy <>
Submitted on : Sunday, May 4, 2014 - 9:51:32 PM
Last modification on : Monday, December 10, 2018 - 2:54:03 PM

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Citation

Stéphane Cotte, Abdellatif Baraket, François Bessueille, S. Gout, Nourdin Yaakoubi, et al.. Élaboration de microélectrodes par techniques originales basées sur la " lithographie douce ". Instrumentation, Mesure, Métrologie, Lavoisier, 2011, 11 (3-4), pp.9-26. ⟨10.3166/i2m.11.3-4.9-26⟩. ⟨hal-00986775⟩

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