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Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Influence of precursor gases on LPCVD polysilicon TFT 92s characteristics

Katell Kervella  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00958794

Soumis le : jeudi 13 mars 2014-14:03:25

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:58

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Dates et versions

hal-00958794 , version 1 (13-03-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00958794 , version 1

Citer

Régis Rogel, G. Gautier, Nathalie . Coulon, Michel Sarret, Olivier Bonnaud. Influence of precursor gases on LPCVD polysilicon TFT 92s characteristics. E-MRS 2002, Spring meeting, Jun 2002, Strasbourg, France. ⟨hal-00958794⟩

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