MEMS acoustiques

Corinne Dejous 1
1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Document type :
Conference papers
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00955737
Contributor : Corinne Dejous <>
Submitted on : Wednesday, March 5, 2014 - 10:48:04 AM
Last modification on : Tuesday, February 27, 2018 - 11:18:10 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00955737, version 1

Collections

IMS-BORDEAUX | IMS-BORDEAUX-FUSION

Citation

Corinne Dejous. MEMS acoustiques. Journées du GDR MNS-MNF, axe Micro et Nano Systèmes, Dec 2013, Toulouse, France. ⟨hal-00955737⟩

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