CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen
Résumé
CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen
Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Sandrine Pyon : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00944810
Soumis le : mardi 11 février 2014-11:33:31
Dernière modification le : jeudi 6 juillet 2023-10:06:40
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00944810 , version 1
Citer
Amel Zairi, Corinne Nouveau, Alain Iost, Ahmed Ben Cheikh Larbi, Aurélien Besnard, et al.. CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen. CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen, Jan 2013, France. ⟨hal-00944810⟩
Collections
89
Consultations
0
Téléchargements