Ion-beam etching on nanostructured La2Ti2O7 piezoelectric thin films - Archive ouverte HAL

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Article Dans Une Revue Journal of the American Ceramic Society Année : 2013

Ion-beam etching on nanostructured La2Ti2O7 piezoelectric thin films

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2

A. Ferri

Fonction : Auteur
PersonId : 16654
IdHAL : anthony-ferri
ORCID : 0000-0002-9162-2715
IdRef : 136536182

UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux

S. Saitzek

Fonction : Auteur
PersonId : 16687
IdHAL : sebastien-saitzek
ORCID : 0000-0003-1403-5397
IdRef : 108496228

UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux

G. Declercq

Fonction : Auteur

J. Costecalde

Fonction : Auteur

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Denis Remiens

Fonction : Auteur
PersonId : 751690
IdHAL : denis-remiens
ORCID : 0000-0002-6761-1442

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

D. Deresmes

Fonction : Auteur
PersonId : 747609
IdHAL : dominique-deresmes
ORCID : 0000-0002-4238-3842

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

David Troadec

Fonction : Auteur
PersonId : 745527
IdHAL : david-troadec
IdRef : 059727403

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

R. Desfeux

Fonction : Auteur
PersonId : 17005
IdHAL : rachel-desfeux
ORCID : 0000-0002-0629-3671
IdRef : 136536441

UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux

Domaines

Physique [physics]

Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00918880

Soumis le : lundi 16 décembre 2013-07:36:22

Dernière modification le : vendredi 26 avril 2024-03:30:07

Dates et versions

hal-00918880 , version 1 (16-12-2013)

Identifiants

HAL Id : hal-00918880 , version 1
DOI : 10.1111/jace.12626

Citer

A. Ferri, S. Saitzek, G. Declercq, J. Costecalde, Denis Remiens, et al.. Ion-beam etching on nanostructured La2Ti2O7 piezoelectric thin films. Journal of the American Ceramic Society, 2013, 96, pp.3877-3882. ⟨10.1111/jace.12626⟩. ⟨hal-00918880⟩

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