Metrology of Replicated Diffractive Optics with Mueller Polarimetry in Conical Diffraction - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Metrology of Replicated Diffractive Optics with Mueller Polarimetry in Conical Diffraction

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Optique [physics.optics]

Pavel Bulkin  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00913564

Soumis le : mardi 3 décembre 2013-23:30:04

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00913564 , version 1 (03-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00913564 , version 1

Citer

Tatiana Novikova, Antonello de Martino, Pavel Bulkin, Q. Nguyen, Bernard Drevillon, et al.. Metrology of Replicated Diffractive Optics with Mueller Polarimetry in Conical Diffraction. Vol. 6518, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXI, 2007, United States. pp.65184E. ⟨hal-00913564⟩

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