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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Time-resolved Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00904432

Soumis le : jeudi 14 novembre 2013-14:52:16

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00904432 , version 1 (14-11-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00904432 , version 1

Citer

G. Cunge, M. Brihoum, Maxime Darnon, E. Despiau-Pujo, A. Davydova, et al.. Time-resolved Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching. American Vacuum Society 60th International Symposium, Oct 2013, Long beach, United States. ⟨hal-00904432⟩

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