Epitaxial growth of AlN thin films at low temperature by magnetron sputtering technique

Type de document :
Communication dans un congrès
European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2013, Symposium J - Semiconductor nanostructures towards electronic and optoelectronic device applications IV, 2013, Strasbourg, France
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Contributeur : Marie-Renée Friscourt <>
Soumis le : jeudi 31 octobre 2013 - 10:37:05
Dernière modification le : dimanche 19 novembre 2017 - 01:11:18

Identifiants

  • HAL Id : hal-00878878, version 1

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Citation

J. Camus, Q. Simon, K. Ait Aissa, S. Bensalem, L. Le Brizoual, et al.. Epitaxial growth of AlN thin films at low temperature by magnetron sputtering technique. European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2013, Symposium J - Semiconductor nanostructures towards electronic and optoelectronic device applications IV, 2013, Strasbourg, France. 〈hal-00878878〉

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