Epitaxial growth of AlN thin films at low temperature by magnetron sputtering technique

Julien Camus (1) , Quentin Simon (2) , Keltouma Aït Aïssa (1) , Salma Bensalem , Laurent Le Brizoual (3) , Gilles Tessier (4) , Yves Scudeller (1) , Mohamed Abdou Djouadi (1) , Yvon Cordier (5) , Éric Frayssinet (5) , Jean-Claude de Jaeger (6) , Magdalena Chmielowska (5) , Maud Nemoz (5) , Philippe Vennéguès (5) , Sébastien Chenot (5) , Nicolas Defrance (6, 7) , Marie Lesecq (6, 7) , Philippe Altuntas (6) , Adrien Cutivet (6, 8, 7) , Alain Agboton (6)

1 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
2 Unipd - Università degli Studi di Padova = University of Padua
3 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
4 Laboratoire Photons Et Matière
5 CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
6 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
7 PUISSANCE - IEMN - Puissance - IEMN
8 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Julien Camus, Quentin Simon, Keltouma Aït Aïssa, Salma Bensalem, Laurent Le Brizoual, et al.. Epitaxial growth of AlN thin films at low temperature by magnetron sputtering technique. European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2013, Symposium J - Semiconductor nanostructures towards electronic and optoelectronic device applications IV, 2013, Strasbourg, France. ⟨hal-00878878⟩