Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry

Bernard Legrand; D. Ducatteau; D. Theron; B. Walter; H. Tanbakuchi

doi:10.1063/1.4817411

Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2013

Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry

(1) , , (1) , ,

1

Bernard Legrand

Fonction : Auteur
PersonId : 4144
IdHAL : bernard-legrand
ORCID : 0000-0001-5158-3654
IdRef : 137439423

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

CV

D. Ducatteau

Fonction : Auteur

D. Theron

Fonction : Auteur
PersonId : 171147
IdHAL : didier-theron
ORCID : 0000-0002-3264-6338
IdRef : 059916567

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

B. Walter

Fonction : Auteur

H. Tanbakuchi

Fonction : Auteur

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-00871931

Soumis le : vendredi 27 mai 2022-14:18:08

Dernière modification le : vendredi 26 avril 2024-03:29:39

Archivage à long terme le : lundi 3 octobre 2022-15:05:20

Dates et versions

hal-00871931 , version 1 (27-05-2022)

Identifiants

HAL Id : hal-00871931 , version 1
DOI : 10.1063/1.4817411

Citer

Bernard Legrand, D. Ducatteau, D. Theron, B. Walter, H. Tanbakuchi. Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry. Applied Physics Letters, 2013, 103, pp.053124-1-5. ⟨10.1063/1.4817411⟩. ⟨hal-00871931⟩

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