Integrative Technology-Based Approach of Microelectromechanical Systems (MEMS) for Biosensing Applications

Liviu Nicu; Thomas Alava; Thierry Leichle; Daisuke Saya; Jean Bernard Pourciel; Fabrice Mathieu; Caroline Soyer; Denis Remiens; Cédric Ayela; Karsten Haupt

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Integrative Technology-Based Approach of Microelectromechanical Systems (MEMS) for Biosensing Applications

Liviu Nicu ¹ Thomas Alava ¹ Thierry Leichle ¹ Daisuke Saya ¹ Jean Bernard Pourciel ² Fabrice Mathieu ² Caroline Soyer ³ Denis Remiens ³ Cédric Ayela ⁴ Karsten Haupt ⁵

1 LAAS-NBS - Équipe NanoBioSystèmes

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

2 LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

4 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

5 GEC - Génie Enzymatique et Cellulaire

Liviu Nicu ¹ AuthorId : 1493110

Author IdHAL : liviu-nicu

Thomas Alava ¹ AuthorId : 892523
Author

Thierry Leichle ¹ AuthorId : 1493109

Author IdHAL : thierry-leichle ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3183-8976

Daisuke Saya ¹ AuthorId : 892520

Author IdHAL : daisuke-saya ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5414-9781

Jean Bernard Pourciel ² AuthorId : 11260136
Author

Fabrice Mathieu ² AuthorId : 1182633

Author IdHAL : fabrice-mathieu

Caroline Soyer ³ AuthorId : 185802
Author

Denis Remiens ³ AuthorId : 136253
Author

Cédric Ayela ⁴ AuthorId : 407499

Author

Karsten Haupt ⁵ AuthorId : 121950

Author

1 LAAS-NBS - Équipe NanoBioSystèmes (France) StructId : 389654

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

2 LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation (France) StructId : 389612

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France) StructId : 1296

Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN) (France) StructId : 300066
UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France) StructId : 300279
Ecole Centrale de Lille (Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France) StructId : 120930
Université de Lille (Lille - France) StructId : 374570
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520 (France) StructId : 441569

4 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (33405 TALENCE CEDEX - France) StructId : 24472

Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (351 cours de la Libération - 33405 Talence cedex - France) StructId : 92972
Institut Polytechnique de Bordeaux (146, rue Léo Saignat, 33076 Bordeaux - France) StructId : 301962
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5218 (France) StructId : 441569

5 GEC - Génie Enzymatique et Cellulaire (Université de Technologie de Compiègne - Centre de Recherche de Royallieu - rue du Docteur Schweitzer- CS 60319 - 60203 COMPIEGNE Cedex - France) StructId : 801

UTC - Université de Technologie de Compiègne (Université de Technologie de Compiègne - Centre de Recherche de Royallieu - rue du Docteur Schweitzer- CS 60319 - 60203 COMPIEGNE Cedex - France) StructId : 93027
UPJV - Université de Picardie Jules Verne (Chemin du Thil - 80000 Amiens - France) StructId : 300258
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6022 (France) StructId : 441569

Document type :

Conference papers

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Complete list of metadatas

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00865903
Contributor : Isabelle Dufour <>
Submitted on : Wednesday, September 25, 2013 - 12:11:55 PM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:10:13 PM

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HAL Id : hal-00865903, version 1

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Liviu Nicu, Thomas Alava, Thierry Leichle, Daisuke Saya, Jean Bernard Pourciel, et al.. Integrative Technology-Based Approach of Microelectromechanical Systems (MEMS) for Biosensing Applications. EMBC'12, 2012, San Diego, United States. 4 p. ⟨hal-00865903⟩

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