Introducing a well-ordered volume porosity in 3-dimensional gold microcantilevers

Cédric Ayela; Hélène Lalo; Alexander Kuhn

doi:10.1063/1.4790396

Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2013

Introducing a well-ordered volume porosity in 3-dimensional gold microcantilevers

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Cédric Ayela

Fonction : Auteur
PersonId : 183182
IdHAL : cedric-ayela
ORCID : 0000-0002-2512-6641
IdRef : 125917287

Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Hélène Lalo

Fonction : Auteur

Institut des Sciences Moléculaires

Alexander Kuhn

Fonction : Auteur
PersonId : 756135
IdHAL : alexander-kuhn
ORCID : 0000-0002-1962-4863
IdRef : 060865156

Institut des Sciences Moléculaires

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00865891

Soumis le : mercredi 25 septembre 2013-12:00:02

Dernière modification le : mercredi 24 avril 2024-11:28:54

Dates et versions

hal-00865891 , version 1 (25-09-2013)

Identifiants

HAL Id : hal-00865891 , version 1
DOI : 10.1063/1.4790396

Citer

Cédric Ayela, Hélène Lalo, Alexander Kuhn. Introducing a well-ordered volume porosity in 3-dimensional gold microcantilevers. Applied Physics Letters, 2013, 102, 053501 (3 p.). ⟨10.1063/1.4790396⟩. ⟨hal-00865891⟩

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