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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Advantages of energy influx measurements in low pressure plasma processes

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Remi Dussart  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00831371

Soumis le : jeudi 6 juin 2013-18:51:30

Dernière modification le : mercredi 10 janvier 2024-14:24:27

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00831371 , version 1 (06-06-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00831371 , version 1

Citer

Pierre-Antoine Cormier, Anne-Lise Thomann, Nadjib Semmar, Remi Dussart, Vincent Dolique, et al.. Advantages of energy influx measurements in low pressure plasma processes. International Conference on Plasma Surface Engineering, Sep 2012, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-00831371⟩

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