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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Time-resolved diagnostics of pulsed plasma etching processes

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00808669

Soumis le : vendredi 5 avril 2013-20:00:22

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:44

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00808669 , version 1 (05-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00808669 , version 1

Citer

G. Cunge, P. Bodart, M. Brihoum, M. Haas, Maxime Darnon, et al.. Time-resolved diagnostics of pulsed plasma etching processes. 1st pulsed plasma diagnostic workshop, Sep 2012, Dublin, Ireland. ⟨hal-00808669⟩

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