Atomic Layer Deposition of TiO2 ultrathin films on 3D substrates for energy applications
A. Soum-Glaude
(1)
,
L. Tian
(2)
,
E. Blanquet
(2)
,
V. Brizé
(2)
,
L. Cagnon
(3)
,
G. Giusti
(4)
,
R. Salhi
(2)
,
S. Daniele
(5)
,
C. Ternon
(6, 4)
,
D. Bellet
(4)
1
PROMES -
Procédés, Matériaux et Energie Solaire
2 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
3 NEEL - MNM - Micro et NanoMagnétisme
4 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
5 IRCELYON - Institut de recherches sur la catalyse et l'environnement de Lyon
6 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
3 NEEL - MNM - Micro et NanoMagnétisme
4 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
5 IRCELYON - Institut de recherches sur la catalyse et l'environnement de Lyon
6 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
A. Soum-Glaude
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21113
- IdHAL : audreysoumglaude
- ORCID : 0000-0001-7397-9174
- IdRef : 114718903
E. Blanquet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739157
- IdHAL : elisabeth-blanquet
- ORCID : 0000-0001-6467-9110
- IdRef : 135652669
L. Cagnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 178543
- IdHAL : laurent-cagnon
- IdRef : 115369007
S. Daniele
- Fonction : Auteur
- PersonId : 10570
- IdHAL : stephane-daniele
- ORCID : 0000-0003-4526-3835
- IdRef : 132836238
C. Ternon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1265884
- IdHAL : celine-ternon
- ORCID : 0000-0001-8890-4239
- IdRef : 070215839
D. Bellet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1120923
- IdHAL : daniel-bellet-grenoble
- ORCID : 0000-0002-9929-3696
- IdRef : 086029266