Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2013
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00795975
Soumis le : vendredi 1 mars 2013-11:15:51
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
V. Passi, Emmanuel Dubois, Aurélie Lecestre, A. Sanchez-Linde, B. Du Bois, et al.. Design guidelines for releasing silicon nanowire arrays by liquid and vapor phase hydrofluoric acid. Microelectronic Engineering, 2013, 103, pp.57-65. ⟨10.1016/j.mee.2012.09.002⟩. ⟨hal-00795975⟩
Collections
81
Consultations
0
Téléchargements