Improved micromachining of all SU-8 3D structures for a biologically-inspired flying robot

X.Q. Bao; Thomas Dargent; Sébastien Grondel; J.B. Paquet; Eric Cattan

doi:10.1016/j.mee.2011.01.065

Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2011

Improved micromachining of all SU-8 3D structures for a biologically-inspired flying robot

, , (1) , , (2)

1
2

X.Q. Bao

Fonction : Auteur

Thomas Dargent

Fonction : Auteur
PersonId : 747896
IdHAL : thomas-dargent
ORCID : 0000-0002-0437-0231

Sébastien Grondel

Fonction : Auteur
PersonId : 746766
IdHAL : sebastien-grondel
ORCID : 0000-0003-1542-9494
IdRef : 143501569

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520

J.B. Paquet

Fonction : Auteur

Eric Cattan

Fonction : Auteur
PersonId : 746767
IdHAL : eric-cattan
ORCID : 0000-0002-6576-5800
IdRef : 151097542

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00795914

Soumis le : vendredi 1 mars 2013-10:17:56

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00795914 , version 1 (01-03-2013)

Identifiants

HAL Id : hal-00795914 , version 1
DOI : 10.1016/j.mee.2011.01.065

Citer

X.Q. Bao, Thomas Dargent, Sébastien Grondel, J.B. Paquet, Eric Cattan. Improved micromachining of all SU-8 3D structures for a biologically-inspired flying robot. Microelectronic Engineering, 2011, 88, pp.2218-2224. ⟨10.1016/j.mee.2011.01.065⟩. ⟨hal-00795914⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-VALENCIENNES IEMN UNIV-LILLE

26 Consultations

0 Téléchargements

Improved micromachining of all SU-8 3D structures for a biologically-inspired flying robot

Dates et versions

Identifiants

Citer

Exporter

Collections

Altmetric

Partager