Numerical modeling of capacitively coupled hydrogen plasmas: effects of frequency and pressure - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2003

Numerical modeling of capacitively coupled hydrogen plasmas: effects of frequency and pressure

Tatiana Novikova
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 936571
Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]
Billel Kalache
  • Fonction : Auteur
Pavel Bulkin
W. Morscheidt
  • Fonction : Auteur
Khaled Hassouni
Laboratoire d'Ingénierie des Matériaux et des Hautes Pressions
Pere Roca I Cabarrocas

Domaines

Physique Numérique [physics.comp-ph]

Tatiana Novikova  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00785257

Soumis le : mardi 5 février 2013-17:18:19

Dernière modification le : mercredi 28 février 2024-14:36:51

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Dates et versions

hal-00785257 , version 1 (05-02-2013)

Identifiants

Citer

Tatiana Novikova, Billel Kalache, Pavel Bulkin, W. Morscheidt, Khaled Hassouni, et al.. Numerical modeling of capacitively coupled hydrogen plasmas: effects of frequency and pressure. Journal of Applied Physics, 2003, 93 (6), pp.3198. ⟨10.1063/1.1555678⟩. ⟨hal-00785257⟩

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