Horizontal buried channels in monocrystalline silicon

Olivier de Sagazan (1) , Matthieu Denoual , P. Guil , D. Gaudin , Bruno Le Pioufle (2) , Olivier Bonnaud (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 SATIE - Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie

Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Bruno Le Pioufle, et al.. Horizontal buried channels in monocrystalline silicon. Conf. Proc. of DTIP of MOEMS & MEMS 2005, May 2005, Montreux, Switzerland. pp.351-354. ⟨hal-00775898⟩