Solid phase post-treatment of polysilicon films by a continuous argon laser

J.F. Michaud (1) , Régis Rogel (2) , Tayeb Mohammed-Brahim (2) , Michel Sarret (1) , Olivier Bonnaud (2)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

J.F. Michaud, Régis Rogel, Tayeb Mohammed-Brahim, Michel Sarret, Olivier Bonnaud. Solid phase post-treatment of polysilicon films by a continuous argon laser. Thin Solid Films, 2005, 487, pp.81-84. ⟨hal-00772824⟩