Contact degradation due to material transfer in MEM switches

A. Peschot (1) , C. Poulain (1) , A. Souchon (1) , P. L. Charvet (1) , Nelly Bonifaci (2) , Olivier Lesaint (2)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 G2ELab - Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble

Domaines: Energie électrique

A. Peschot, C. Poulain, A. Souchon, P. L. Charvet, Nelly Bonifaci, et al.. Contact degradation due to material transfer in MEM switches. Microelectronics Reliability, 2012, 52, pp.2261-2266. ⟨hal-00739465⟩