Use of vapor-phase process for micro-structuration of organic cantilever-based sensor - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Use of vapor-phase process for micro-structuration of organic cantilever-based sensor

Hélène Debéda
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 841623
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Riadh Lakhmi
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
CV
Claude Lucat
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 841452
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00732785

Soumis le : lundi 17 septembre 2012-09:25:38

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

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Dates et versions

hal-00732785 , version 1 (17-09-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00732785 , version 1

Citer

Hélène Debéda, Riadh Lakhmi, Claude Lucat. Use of vapor-phase process for micro-structuration of organic cantilever-based sensor. MNE 2012 38th International Conference on Micro & Nano Engineering, 2012, Toulouse, France. 1 page. ⟨hal-00732785⟩

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