Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Thomas Tillocher : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00696418
Soumis le : vendredi 11 mai 2012-16:12:56
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:55
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00696418 , version 1
Citer
Julien Ladroue, Mohamed Boufnichel, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Pierre Ranson, et al.. Deep GaN Etching by Inductively Coupled Plasma. HeteroSiC-WASMPE 2011, Jun 2011, Tours, France. ⟨hal-00696418⟩
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