Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00680951
Soumis le : mardi 20 mars 2012-14:50:30
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:47
Citer
T. Leveder, S. Landis, L. Davoust, S. Soulan, J.H. Tortai, et al.. Surface characterization of imprinted resist above glass transition temperature. Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures, 2007, 25 (6), pp.2365 - 2369. ⟨10.1116/1.2799975⟩. ⟨hal-00680951⟩
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