Production of multilayer microcomponents by the sacrificial thick layer method - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2007

Production of multilayer microcomponents by the sacrificial thick layer method

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00670351

Soumis le : mercredi 15 février 2012-11:34:09

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00670351 , version 1 (15-02-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00670351 , version 1

Citer

Claude Lucat, Patrick Ginet, Francis Ménil, Hélène Debéda. Production of multilayer microcomponents by the sacrificial thick layer method. European Union, Patent n° : EP n°07712639.9. 2007. ⟨hal-00670351⟩

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