Modelling of capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen. - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00669173 , version 1 (11-02-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00669173 , version 1

Citer

L. Marques, C. D. Pintassilgo, Grégoire Alcouffe, Guy Cernogora, L. L. Alves. Modelling of capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen.. 29th ICPIG (International Conference on the Physics of Ionized Gases), Jul 2009, Cancun, Mexico. ⟨hal-00669173⟩
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