Impact of ambient atmosphere on plasma-damaged porous low-k characterization
Maxime Darnon
(1)
,
T. Chevolleau
(1)
,
T. David
(2)
,
N. Posseme
(2)
,
R. Bouyssou
(3)
,
R. Hurand
(1)
,
O. Joubert
(1)
,
C. Licitra
,
N. Rochat
,
F. Bailly
(3)
,
C. Verove
Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
C. Licitra
- Fonction : Auteur
- PersonId : 761212
- ORCID : 0000-0002-4309-3310
N. Rochat
- Fonction : Auteur
C. Verove
- Fonction : Auteur