Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00647612
Soumis le : vendredi 2 décembre 2011-13:32:20
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00647612 , version 1
Citer
O. Joubert, N. Possémé, T. David, T. Chevolleau, Maxime Darnon. Low k Integration Using Metallic Hard Masks. Materials Research Society spring meeting (MRS) 2011, Apr 2011, San Francisco, United States. ⟨hal-00647612⟩
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