" Influence des substrats de silicium sur les performances des inductances planaires 2D lors d'une intégration 3D ",

J. Roullard (1) , S. Capraro (2, 1) , E. Eid (1) , L. Cadix , T. Lacrevaz (1) , C. Bermond (1) , A. Farcy (3, 1) , B. Fléchet (1)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 DIOM - Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes
3 PPrime [Poitiers] - Institut Pprime [UPR 3346]

Domaines: Autre [cond-mat.other]

J. Roullard, S. Capraro, E. Eid, L. Cadix, T. Lacrevaz, et al.. " Influence des substrats de silicium sur les performances des inductances planaires 2D lors d'une intégration 3D ",. 11e Journées Caractérisation Microondes et Matériaux, Apr 2010, Brest, France. ⟨hal-00604501⟩