-FET: electrostatics and influence of spacer thickness.

K. Tachi , T. Ernst (1) , C. Dupre , A. Hubert (2) , S. Becu , H. Iwai , S. Cristoloveanu (3) , O. Faynot (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

K. Tachi, T. Ernst, C. Dupre, A. Hubert, S. Becu, et al.. -FET: electrostatics and influence of spacer thickness.. 5th EUROSOI Workshop, Jan 2009, Göteborg, Sweden. ⟨hal-00603733⟩