Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2011
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https://hal.science/hal-00603279
Soumis le : vendredi 24 juin 2011-15:18:38
Dernière modification le : mercredi 31 janvier 2024-16:47:56
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00603279 , version 1
Citer
N. Rochdi, K. Liudvikouskaya, M. Descoins, Mahfoudh Raïssi, C. Coudreau, et al.. Surface morphology and structure of ultra-thin magnesium oxide grown on (100) silicon by atomic layer deposition oxidation. Thin Solid Films, 2011, 519 (19), pp.6302-6306. ⟨hal-00603279⟩
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