Developments of ALD Processes: Experiments and Thermodynamic Evaluations

E. Blanquet (1) , I. Nuta (1) , V. Brize (2) , R. Boichot (1) , A. Mantoux (1) , P. Violet (1) , S. Daniele (3)

1 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
2 GREMAN - UMR 7347 - GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)
3 IRCELYON - Institut de recherches sur la catalyse et l'environnement de Lyon

Domaines: Matériaux

E. Blanquet, I. Nuta, V. Brize, R. Boichot, A. Mantoux, et al.. Developments of ALD Processes: Experiments and Thermodynamic Evaluations. 218th ECS Meeting, Oct 2010, LAS VEGAS, NV, United States. ⟨hal-00591213⟩