Magnetic Microscopy for 3D devices: defect localization with high resolution and long working distance on complex System in Package

Type de document :
Communication dans un congrès
19th European Symposium Reliability on Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF) 2009, Oct 2009, Arcachon, France. pp.1, 2009
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Contributeur : Chrystel Plumejeau <>
Soumis le : mercredi 13 avril 2011 - 16:26:33
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Citation

F. Infante, Philippe Perdu, Dean Lewis. Magnetic Microscopy for 3D devices: defect localization with high resolution and long working distance on complex System in Package. 19th European Symposium Reliability on Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF) 2009, Oct 2009, Arcachon, France. pp.1, 2009. 〈hal-00585654〉

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