Formation mechanisms of femtosecond laser induced spike structures on silicon : numerical study and TEM experiments - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Formation mechanisms of femtosecond laser induced spike structures on silicon : numerical study and TEM experiments

T.J.Y. Derrien
  • Fonction : Auteur
R. Torres
  • Fonction : Auteur
T.E. Itina
  • Fonction : Auteur
V.N. Tokarev
  • Fonction : Auteur
Mathieu Halbwax
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
M. Sentis
  • Fonction : Auteur
T. Sarnet

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https://hal.science/hal-00574118

Soumis le : lundi 7 mars 2011-11:33:28

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00574118 , version 1 (07-03-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00574118 , version 1

Citer

T.J.Y. Derrien, R. Torres, T.E. Itina, V.N. Tokarev, Mathieu Halbwax, et al.. Formation mechanisms of femtosecond laser induced spike structures on silicon : numerical study and TEM experiments. European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2010, Symposium R : Laser processing and diagnostics for micro and nano applications, 2010, Strasbourg, France. ⟨hal-00574118⟩

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