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Conference papers

Développement de capteurs interdigités pour la caractérisation de couches sur substrat

Document type :
Conference papers
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00573246
Contributor : Collection Iemn Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, March 4, 2011 - 8:58:10 AM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:51:35 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00573246, version 1

Citation

J. Deboucq, Marc Duquennoy, Mohammadi Ouaftouh, Frédéric Jenot, Julien Carlier, et al.. Développement de capteurs interdigités pour la caractérisation de couches sur substrat. 10ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 10, 2010, Lyon, France. pp.1-4. ⟨hal-00573246⟩

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