Dielectric and ferroelectric properties of LaTiOxNy thin films

Ahmed Ziani (1) , Claire Le Paven-Thivet (2) , Laurent Le Gendre (2) , Didier Fasquelle (3) , Jean-Claude Carru (3) , Franck Tessier (4) , Jacques Pinel (1)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
3 LEMCEL - Laboratoire d'Etude des Matériaux et des Composants pour l'Electronique
4 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domaines: Matériaux

Ahmed Ziani, Claire Le Paven-Thivet, Laurent Le Gendre, Didier Fasquelle, Jean-Claude Carru, et al.. Dielectric and ferroelectric properties of LaTiOxNy thin films. International Symposium of Integrated Ferroelectrics ISIF 2007, May 2007, Bordeaux, France. ⟨hal-00567514⟩