Epitaxial growth of ZnO thin films on AlN substrates deposited at low temperature by magnetron sputtering

S. Rahmane; B. Abdallah; A. Soussou; E. Gautron; Pierre-Yves Jouan; L. Le Brizoual; Nicolas Barreau; A. Soltani; M. A. Djouadi

doi:10.1002/pssa.200983776

Article Dans Une Revue physica status solidi (a) Année : 2010

Epitaxial growth of ZnO thin films on AlN substrates deposited at low temperature by magnetron sputtering

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S. Rahmane

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B. Abdallah

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A. Soussou

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E. Gautron

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Pierre-Yves Jouan

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L. Le Brizoual

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Nicolas Barreau

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A. Soltani

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PersonId : 178734
IdHAL : ali-soltani
ORCID : 0000-0001-6185-0760
IdRef : 061426644

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

M. A. Djouadi

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https://hal.science/hal-00549911

Soumis le : jeudi 23 décembre 2010-08:01:04

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00549911 , version 1 (23-12-2010)

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HAL Id : hal-00549911 , version 1
DOI : 10.1002/pssa.200983776

Citer

S. Rahmane, B. Abdallah, A. Soussou, E. Gautron, Pierre-Yves Jouan, et al.. Epitaxial growth of ZnO thin films on AlN substrates deposited at low temperature by magnetron sputtering. physica status solidi (a), 2010, 207, pp.1604-1608. ⟨10.1002/pssa.200983776⟩. ⟨hal-00549911⟩

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