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Communication Dans Un Congrès Année : 1999

Application of a new approach to Optical Proximity Correction

A. Rosenbusch
  • Fonction : Auteur
A. Hourd
  • Fonction : Auteur
C. Juffermans
  • Fonction : Auteur
H. Kirsch
  • Fonction : Auteur
F. Lalanne
  • Fonction : Auteur
W. Maurer
  • Fonction : Auteur
C. Romeo
  • Fonction : Auteur
K. Ronse
  • Fonction : Auteur
P. Schiavone
Laboratoire des technologies de la microélectronique
M. Simecek
  • Fonction : Auteur
O. Toublan
  • Fonction : Auteur
J. Watson
W. Ziegler
  • Fonction : Auteur
R. Zimmermann
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00494502

Soumis le : mercredi 23 juin 2010-14:04:45

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:40

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00494502 , version 1 (23-06-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00494502 , version 1

Citer

A. Rosenbusch, A. Hourd, C. Juffermans, H. Kirsch, F. Lalanne, et al.. Application of a new approach to Optical Proximity Correction. SPIE'S 1999, Symposium on Microlithography, 1999, Santa Clara, United States. pp.vol. 3679, (1999). ⟨hal-00494502⟩

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