EFFECTS OF NITROGEN INCORPORATION IN LANTHANUM-BASED DIELECTRIC FILMS
V. Edon
,
M.C. Hugon
(1)
,
B. Agius
(1)
,
K.P. Bastos
,
L. Miotti
,
C. Driemeier
,
L. Salvador
,
C. Krug
,
R. Baumvol I. J.
,
C. Eypert
(2)
,
Olivier Durand
(3, 4)
V. Edon
- Fonction : Auteur
K.P. Bastos
- Fonction : Auteur
L. Miotti
- Fonction : Auteur
C. Driemeier
- Fonction : Auteur
L. Salvador
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173291
- IdHAL : luc-laurent-salvador
- ORCID : 0000-0001-7057-2889
C. Krug
- Fonction : Auteur
R. Baumvol I. J.
- Fonction : Auteur
Olivier Durand
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3896
- IdHAL : olivier-durand
- ORCID : 0000-0002-4956-7767
- IdRef : 159510996