CFx kinetics, gas temperatures and instabilities in a CF4 inductively-coupled discharge - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2001

CFx kinetics, gas temperatures and instabilities in a CF4 inductively-coupled discharge

J.P Booth
CV
H. Abada
  • Fonction : Auteur
P. Chabert
CV
G. Cunge
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00486179

Soumis le : mardi 25 mai 2010-11:42:28

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:46

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00486179 , version 1 (25-05-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00486179 , version 1

Citer

J.P Booth, H. Abada, P. Chabert, G. Cunge. CFx kinetics, gas temperatures and instabilities in a CF4 inductively-coupled discharge. 48th AVS Annual Symposium, 2001, San Francisco, United States. ⟨hal-00486179⟩

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