Chlorine dissociation fraction in an inductively coupled plasma measured by ultraviolet absorption spectroscopy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2002

Chlorine dissociation fraction in an inductively coupled plasma measured by ultraviolet absorption spectroscopy

F. Neuilly
  • Fonction : Auteur
J.P Booth
CV
L. Vallier
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00475898

Soumis le : vendredi 23 avril 2010-11:42:28

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:00:55

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00475898 , version 1 (23-04-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00475898 , version 1

Citer

F. Neuilly, J.P Booth, L. Vallier. Chlorine dissociation fraction in an inductively coupled plasma measured by ultraviolet absorption spectroscopy. Journal of Vacuum Science and Technology, 2002, pp.A20(1), 225, (2002). ⟨hal-00475898⟩

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