Integrated monitoring of ULK dielectrics out-gassing and measurement of pore sealing efficiency by residual gas analysis technique - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2007

Integrated monitoring of ULK dielectrics out-gassing and measurement of pore sealing efficiency by residual gas analysis technique

R. Delsol
  • Fonction : Auteur
L.L. Chapelon
  • Fonction : Auteur
H. Chaabouni
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
L. Broussous
  • Fonction : Auteur
M. Schellenberger
  • Fonction : Auteur
A. Ostrovsky
  • Fonction : Auteur
P. Normandon
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00466360

Soumis le : mardi 23 mars 2010-15:19:09

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:34:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00466360 , version 1 (23-03-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00466360 , version 1

Citer

R. Delsol, L.L. Chapelon, H. Chaabouni, L. Broussous, M. Schellenberger, et al.. Integrated monitoring of ULK dielectrics out-gassing and measurement of pore sealing efficiency by residual gas analysis technique. Microelectronic Engineering, 2007, pp.84 Issue: 11 (2007) 2719-2722. ⟨hal-00466360⟩

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