Observation of HfO2 thin films by deep UV spectroscopic ellipsometry - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Non-Crystalline Solids Année : 2007

Observation of HfO2 thin films by deep UV spectroscopic ellipsometry

F. Ferrieu
  • Fonction : Auteur
K. Dabertrand
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
S. Lhostis
  • Fonction : Auteur
V. Ivanova
  • Fonction : Auteur
E. Martinez
C. Licitra
G. Rolland
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00463075

Soumis le : jeudi 11 mars 2010-09:56:49

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:00

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00463075 , version 1 (11-03-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00463075 , version 1

Citer

F. Ferrieu, K. Dabertrand, S. Lhostis, V. Ivanova, E. Martinez, et al.. Observation of HfO2 thin films by deep UV spectroscopic ellipsometry. Journal of Non-Crystalline Solids, 2007, pp.Issue: 5-7 (2007) 658-662. ⟨hal-00463075⟩

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