The role of ultraviolet radiation during ultralow k films curing: Strengthening mechanisms and sacrificial porogen removal

A. Zenasni; V. Jousseaume; P. Holliger; L. Favennec; O. Gourhant; P. Maury; G. Gerbaud

Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2007

The role of ultraviolet radiation during ultralow k films curing: Strengthening mechanisms and sacrificial porogen removal

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A. Zenasni

Fonction : Auteur

V. Jousseaume

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

P. Holliger

Fonction : Auteur

L. Favennec

Fonction : Auteur

O. Gourhant

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Laboratoire des technologies de la microélectronique

P. Maury

Fonction : Auteur

G. Gerbaud

Fonction : Auteur

Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00463070

Soumis le : jeudi 11 mars 2010-09:39:14

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:00:55

Dates et versions

hal-00463070 , version 1 (11-03-2010)

Identifiants

HAL Id : hal-00463070 , version 1

Citer

A. Zenasni, V. Jousseaume, P. Holliger, L. Favennec, O. Gourhant, et al.. The role of ultraviolet radiation during ultralow k films curing: Strengthening mechanisms and sacrificial porogen removal. Journal of Applied Physics, 2007, pp.094107. ⟨hal-00463070⟩

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